C11 Plasma Wet Scrubber
■ 모델 MB-200
Product Features
- High Temperature Thermal Equilibrium Plasma System
- High decomposition efficiency of PFCs gas(more than 99%)
- Minimize maintenance time with modular structure
■ 사양 유량 : Max 500LPM
INFlow 유량(With N2 Purge) : Etch(CF4) 200LPM
CVD, Diffusion(Others) 500LPM
전원 : 2230V 3상, 5~20kW(가변)
전류 범위 : 10~100A
전압 범위 : 50~600V
Cooling : Water Cooling
Torch N2 : 3~6kg/cm2, 10~50LPM
PCW : 1.5~2kg/cm2, 2~4LPM
Size : 400(W) x 800(D) x 1000(H)
■ 가스 Etch, CVD, Diffusion, Etc
■ 대용량 Hybrid Type Scrubber
■ Hybrid Plasma + Burn Test
운전 조건에 따라 Plasma or Burn 전환
■ 모델 HMB-200
Product Features
- Hybrid Plasma System (Plasma + Burn)
- Capable of processing large-capacity PFCs gas
■ 사양 유량 : Max 1,000LPM
INFlow 유량(With N2 Purge) : Etch(CF4) 300LPM
CVD, Diffusion(Others) 1,000LPM
■ RGA-200을 이용하여 Plasma Scrubber IN/OUT 연결 후 측정
Plasma Power 약 8.4kW(35A/240V), Inlet 약 4,201ppm / Outlet 약 273ppm 차이(약 94%)
Plasma Scrubber or NDIR Gas Sensor가 상호 연동을 통해 에너지세이빙 실현과 Scrubber All Swap 방식 채택으로 설치 공간 축소, 모듈화 구조로 즉시 공정 전환 가능
Vacuum Pump와 동일한 방식의 Scrubber SWAP방식 적용
RGA 제품을 이용한 Plasma Scrubber(MB-200) Energy Saving 실현
■ 연관 구성품
Real-Time Gas Analysis(RGA-200)
Plasma Power Supply(ECOWorks20)
Utility Management Device(UMD)
