C01-2 Real-Time Gas Analysis
■ 모델 RGA-200
Gas Sensor : ND-IR 2개(사용자 선택), 개별 측정
■ 사양 전원 : AC220V, 2A
화면 : 4.3" Touch Screen
통신 : Modbus RTU, TCP / VNC 지원
인터페이스 : Dry Contact, Analog Output 0~5V
압력 : -100 ~ + 100kPa
유량 : 0.2 ~ 1.5LPM
Purge N2 압력 : 0.5 ~ 1bar
Pump : Diaphragm Pump
Port : 1/4"
■ 기능 운전방식 : Manual, Auto, Remote, Network
자동 : Sampling, Zero Calibration, Purge, Leak Check
안전 : Pressure Interlock, Broken , Gas Line Leak Check
편의 : Real Data Trend 및 Event, USB Back-up, CMS 연동
RGA Series는 NDIR(Non-Dispersive Infrared : 비분산 적외선) Gas Sensor를 이용하여 가스 분자의 고유 특정 파장 적외선을 흡수하여 흡수율을 측정하여 Gas 농도로 표시하며
RGA의 제어 방식을 통해 수명 연장 및 측정의 정확성을 확보하여, 고가의 FT-IR에 대체하여 사용이 가능 함
■ 응용
RGA-200을 Scrubber IN/OUT Port에 연결하여 동시 측정에 사용
(GAS 측정시 수분 및 이물질에 영향은 받기 때문에 전 처리 장치는 필요)
RGA-200 Inlet/Outlet의 PPM 차이를 확인할 수 있으며, 에너지
(Power, PCW, CDA, N2등) 제어
EX) Scrubber Inlet/Outlet
EX) PPM Display
채널1 : Scrubber Inlet의 GAS 공급량에 따른 PPM 계산(1996)과
RGA에서 측정(1990)된 값이 약 0.3% 차이를 보임
채널2 : GAS 공급량에 따른 PPM 계산(1996)과 Scrubber Outlet에서
RGA에서 측정(150)된 값이 약 92.48% 차이를 보임
CF4 "FT-IR : RGA" 비교 측정 * CF4 ND-IR Range 0 ~ 5,000ppm
NF3 "FT-IR : RGA" 비교 측정 * NF3 ND-IR Range 0 ~ 5,000ppm
■ 검증
표준가스 CF4 10ppm
표준가스 CF4 50ppm
표준가스 SF6 502ppm
표준가스 SF6 1,002ppm
FID 대 RGA-200 비교 실험
RGA-200을 이용하여 Plasma Scrubber IN/OUT 동시 측정
Plasma Power 약 8.4kW(35A/240V), Inlet 약 4,201ppm / Outlet 약 273ppm 차이(약 94%)
■ 연관 구성품
